鈀、鎳、鉑及其合成物，常被用作制造氫氣傳感器的活性材料。具體來說，這些活性元素，可被看作可與氫元素發(fā)生反應(yīng)的催化材料，且氫元素能與這些元素相容，還可溶于該元素。目前，作為為活性元素，鈀、鉑、鎳元素在氫傳感器中得以廣泛應(yīng)用。

這些活性材料在吸收了氫分子之后，會改變其本身的物理參數(shù)。例如，在金屬氧化物半導(dǎo)體為基礎(chǔ)的電容式氫氣傳感器中，氫原子在金屬柵中擴散，并在鈀氧化物表面上形成了一個偶極層，該偶極層導(dǎo)致了活性元素的功函數(shù)的改變。

氫氣傳感器類型、參數(shù)及電化學(xué)氫氣傳感器的原理

目前，市場上的氫氣傳感器，基于物理參數(shù)的不同，如電阻、熱導(dǎo)率、聲學(xué)函數(shù)、機械學(xué)函數(shù)、光學(xué)函數(shù)、電化學(xué)和催化函數(shù)以及功函數(shù)，大體可分為八種類型。氫氣傳感器檢測的重要參數(shù)包括響應(yīng)時間、恢復(fù)時間、響應(yīng)百分比(%)、靈敏度、選擇性和可靠性等。